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電子級羥基乙叉二膦酸(HEDP)
一、性能與用途
電子(zi)級HEDP為(wei)電子(zi)級高純產(chan)品,具有很(hen)強的(de)金屬離子(zi)螯合(he)能(neng)力,在半導體(ti)加工的(de)研磨(mo)、拋光(guang)、蝕刻等工藝,可(ke)(ke)以提高研磨(mo)效率和光(guang)潔度,在顯示(shi)面(mian)板、PCB板蝕刻加工過程(cheng)中(zhong)使(shi)用可(ke)(ke)以減少毛刺(ci),提高銅箔表(biao)面(mian)光(guang)潔度。
二、技術指標
項 目 | 指 標 |
外 觀 | 無色透明液體 |
活性(以HEDP計)/% | ≥60.0 |
單個金屬離子/ppb | 可根據客戶需求定制 |
三、包裝與貯存
電子級HEDP液體用(yong)電子級塑(su)料(liao)桶(tong)包裝,每桶(tong)25kg或200kg,可根(gen)據客(ke)戶需(xu)求定(ding)制。貯(zhu)存于室內(nei)陰涼通風處,貯(zhu)存期(qi)十二個月(yue)。
四、安全與防護
電子級HEDP為酸性(xing),操作時注意勞動防(fang)護,應(ying)(ying)避免與皮膚、眼睛等接觸(chu),接觸(chu)后應(ying)(ying)立即用(yong)大量(liang)清水(shui)沖(chong)洗。
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雷帥
胡慧(hui)
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